金融界2024年11月5日消息,国家知识产权局信息显示,深圳森丰真空镀膜有限公司申请一项名为“一种改善干涉色正侧色差的PVD膜层制备方法”的专利,公开号CN 118895484 A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本发明公开了一种改善干涉色正侧色差的PVD膜层制备方法,属于PVD镀膜领域。包括步骤:S1:基底材料放入镀膜室中,进行加热及抽真空;S2:通入氩气,开启偏压电源,进行弧光清洗;S3:开启外置磁场电源,开启两对Cr靶,沉积纯Cr层;S4:开启两对Si靶,通入N2,沉积CrSiN层;S5:通入气体C2H2,tp钱包沉积CrSiCN层;S6:关闭一对Cr靶和一对Si靶,调整Cr靶和Si靶的电流,沉积干涉膜层的CrSiCN层;S7:关闭Cr,Si靶,开启另一对Cr靶,关闭气体N2,沉积干涉膜层CrC层;S8:关闭Cr靶,开启Si靶,沉积干涉膜层SiC层,结束镀膜。通过将靶材与货品的设置适当的距离,并同时附加外置磁场,改变炉内粒子运行轨迹,使得绕镀到货品侧面的粒子增多,从而改善货品正面和侧面的色差。
本文源自:金融界
作者:情报员